Исследование структуры металл - диэлектрик - полупроводник
Славникова М. М.
В работе изучается емкость структур металл-диэлектрик-полупроводник, зависимость емкости этой структуры от приложенного напряжения, определяется знак и величина поверхностного заряда и тип проводимости полупроводниковой подложки. Руководство к лабораторной работе по курсу «Физические основы микро- и наноэлектроники» предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.03 - «Конструирование и технология электронных средств».
年:
2018
出版社:
ТУСУР
言語:
russian
ファイル:
PDF, 441 KB
IPFS:
,
russian, 2018